Doc. No. PR101129
2010年11月29日
生産性世界最高水準の塗布現像装置「SOKUDO DUO」
毎時350枚以上の技術確立へ
株式会社SOKUDO（本社：京都市下京区／社長：須原 忠浩）は、生産性世界最高水準※のデュアルトラックシステム「SOKUDO DUO」のスループットを、毎時350枚以上（露光装置と接続時）に向上させる基礎技術を確立しました。これにより、単体能力としても毎時450枚の飛躍的な高スループット処理が可能となります。この技術を搭載したシステムは、2011年のリリースを予定しています。
当社は2009年5月に、ウエハー処理を上下2つのラインで並行に進めるという革新的な新コンセプト、デュアルトラックシステムを採用した塗布現像装置「SOKUDO DUO」を世界に先駆けて発売し、既に単体能力として毎時300枚、露光装置との接続時では毎時250枚程度のスループットを実証していました。
なお、既に「SOKUDO DUO」は国内外の量産工場で導入されており、最先端微細化プロセスの液浸露光装置をはじめ、各社の露光装置と共に稼動しています。
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株式会社SOKUDO マーケティング戦略室 室長 チャールズ・ペチュレスキーのコメント
2011年には、ASML社、キヤノン社、ニコン社などの露光装置のスループットが毎時200枚を超えることが予想され、半導体メーカーはこれからも露光装置のさらなる生産性の向上を求めるでしょう。「SOKUDO DUO」が採用したデュアルトラックシステムは、当初から、こうした先々の要求を視野に入れたもので、機種変更に伴う検証に時間を費やしたくないという半導体メーカーの要望にも応えるものです｡
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株式会社SOKUDO 社長 須原 忠浩のコメント
「SOKUDO DUO」の高い生産性は、世界の量産現場において顕著に表れており、最先端微細化プロセスでは毎日3,600枚、単体の塗布現像装置としては毎日6,000枚の生産性を実現しています。これは、「SOKUDO DUO」が生産性において世界一のレベルを維持、改善し続けている証しといえます。「SOKUDO DUO」をさらに進化させ、毎時350枚以上という、より高いスループットを提供することで、半導体メーカーの生産性向上や、高額化するリソグラフィープロセスのトータルコスト削減に寄与することは間違いありません。
※ 当社調べ
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